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VICI氣體純化器原理

更新時(shí)間:2025-12-02

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VICI 氣體純化器是一種用于提高氣體純度的設(shè)備,可廣泛應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。以下是其詳細(xì)介紹:
  • 工作原理:VICI 氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑,當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時(shí),氣體中的氧氣、水、氮?dú)狻⒁谎趸?、二氧化碳、甲烷等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng),從而將雜質(zhì)去除,達(dá)到純化氣體的目的。

  • 產(chǎn)品特點(diǎn)

    • 凈化效果優(yōu)異:能夠?qū)怏w的純度從 99.995% 提升到 99.9999% 色譜純以上的等級(jí),可有效去除氣體中的水、碳?xì)浠衔?、氧氣、二氧化碳、一氧化碳等多種雜質(zhì)。

    • 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理:采用優(yōu)化的多層次結(jié)構(gòu),氣體每經(jīng)過一個(gè)層次的凈化,污染物含量都會(huì)相應(yīng)降低,能盡可能地減少接頭數(shù)量,降低氣體泄漏的可能性。

    • 多種類型可選:有非加熱型純化器(Mat/Sen)和加熱型純化器(如 HP2、NP2 等)。非加熱型通常適用于通用型色譜儀等場景,加熱型 HP2 主要用于氦氣和其他惰性氣體的純化,NP2 則專門用于氮?dú)獾募兓?/p>

    • 操作簡便安全:純化器的操作相對(duì)簡單,無需復(fù)雜的操作流程和專業(yè)的技術(shù)培訓(xùn)。采用可加熱活化的吸附性合金材質(zhì)作為純化基質(zhì),由穩(wěn)定的合金焊接裝配件組成,一些加熱型純化器還配備有自控裝置,確保純化過程的穩(wěn)定進(jìn)行。

  • 應(yīng)用領(lǐng)域

    • 分析儀器領(lǐng)域:可應(yīng)用于超微量水、氧分析儀,氣相色譜儀(GC)、常壓離子質(zhì)譜儀(APIMS)等各類氣體分析儀器純化載氣或零點(diǎn)氣,提高儀器的檢測精度和穩(wěn)定性。

    • 半導(dǎo)體領(lǐng)域:可為眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套提供超高純的工藝氣體,滿足半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度的苛刻要求。

    • 其他領(lǐng)域:可用于超高純度氣體管道安裝施工中純化軌道焊機(jī)使用的氬氣和驗(yàn)收時(shí)使用的吹掃氣體等



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